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新型高精度白光干涉仪测量系统MarSurf WM 100，是具有亚纳米级分辨率和最高测量精度的全新光学测量仪器。

它配备了全新的摄像头、功能强大的干涉仪软件和Win 10操作系统，适用于所有光学和反射表面，精细技术表面以及电路板，半导体产品和生物组织表面的测量。 

特征优势一览：

MarSurf WM 100的传感器单元可以在Z轴方向上手动移动200mm以上，工作台也可以在X轴和Y轴方向上手动进行自由调整，可达到100μm（纵向）的测量范围。根据客户测量任务，Mahr还可满足更多测量范围的定制要求。选配的主动减震平台，可在纳米和亚纳米级测量时减低震动，降低测量时操作环境等外因造成干扰。

应用行业：